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2011-09

多連バルブの製作

今回は半導体の製造装置などで使用される多連バルブの製作の
ご紹介です。

 

↓まずは横穴の加工です。こういった長尺の穴を加工する場合は通常の縦型
マシニングではなく刃物が横を向いている横マシニングを使用します。
p7200531
今回は7連マニホールド形状の為、横穴の深さは500L位になります。
これだけ長いと刃物自身も自重でたわみますが、そこは豊富な経験と秘密の
ノウハウで乗り越えます。もちろん穴の内面精度も長穴だからと安易に妥協す
る様な事は絶対ございませんのでご安心下さい。 
 
  

↓本来なら旋盤で加工すべき継手形状ですが、その長さから旋盤加工はNGです。
今回は継手といった非常にクリティカルでシビアな加工になりますので使用時
の性能と必要な高いシール性を最大限に考慮し、総形バイトを自社で製作、マシ
ニング加工といえども旋盤加工と同様の面精度を維持しています。
p7210537 

 
 
↓ダイヤフラムが収まるシート部分も同様の加工で面精度を維持します。
p7270551
 
 
 
 
↓またまた継手部分の加工です。今回は7連部を一気に加工します。
p7280559
 
 
  
↓完成です。これだけ多連バルブが並ぶと迫力があります。
p8010567
 
 
弊社では、0.1mm程度の小さい穴から、500L程度の深穴まで、全て自社
の設備にて対応を行う事が可能ですので、是非ご相談下さい。お待ちしています。
 
 
 

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ウエハーキャリア等の特注製作について

今回は25mm×20mmのガラス基板を洗浄する為の特注キャリアの製作工程に
ついてご報告致します。 やはりテフロン溶接技術を応用して製作しています。
※今回はお客様のご要望に合わせて、弊社の設計で製品化致しました。
  
↓製作された組立前の部品です。 製作コストを考え、一体型ではなく、ネジ止
め溶接構造としています。
p9080011
 

↓仮組をしてから使用される基盤と同じサイズのダミーを使用して精度確認
を行います。
p9080014

 
↓組立精度に問題がなければ、取付ネジを回り止めと液溜り防止も兼ねて溶接
で封止します。下の写真は封止前です。
 p9080017

 
 
↓封止後の写真です。 溶棒のPFAと母材のPTFEが完全に一体化しています。
 これで使用中やヒートサイクルによるネジの緩みは発生しません。
p9080018
 
 
 ↓溶接後は溶接熱による変形が発生していないか全ての部分で精度を再確認
します。熱の影響が出やすい形状でしたが、問題はありませんでした。
p9080022
 
 
今回は同様の製品を20台程納入させて頂きました。
今回の製品の様に、図面がない状態からでも。お客様のご要望に合わせて
設計、製作が可能です。また、打合せの段階でコストダウンへの提案等も
合わせて行わせて頂きます。特注品をご製作の際には、是非ご相談下さい!

 

 

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