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ウエハーキャリア等の特注製作について

今回は25mm×20mmのガラス基板を洗浄する為の特注キャリアの製作工程に
ついてご報告致します。 やはりテフロン溶接技術を応用して製作しています。
※今回はお客様のご要望に合わせて、弊社の設計で製品化致しました。
  
↓製作された組立前の部品です。 製作コストを考え、一体型ではなく、ネジ止
め溶接構造としています。
p9080011
 

↓仮組をしてから使用される基盤と同じサイズのダミーを使用して精度確認
を行います。
p9080014

 
↓組立精度に問題がなければ、取付ネジを回り止めと液溜り防止も兼ねて溶接
で封止します。下の写真は封止前です。
 p9080017

 
 
↓封止後の写真です。 溶棒のPFAと母材のPTFEが完全に一体化しています。
 これで使用中やヒートサイクルによるネジの緩みは発生しません。
p9080018
 
 
 ↓溶接後は溶接熱による変形が発生していないか全ての部分で精度を再確認
します。熱の影響が出やすい形状でしたが、問題はありませんでした。
p9080022
 
 
今回は同様の製品を20台程納入させて頂きました。
今回の製品の様に、図面がない状態からでも。お客様のご要望に合わせて
設計、製作が可能です。また、打合せの段階でコストダウンへの提案等も
合わせて行わせて頂きます。特注品をご製作の際には、是非ご相談下さい!

 

 

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