今回は フッ素樹脂溶接 (素材はＰＦＡ）による事例紹介です。
石英で製作されたウエハーキャリアベースに ＰＦＡ溶接 で受け刃を取り付けます。
↑こちらはＰＦＡ受け刃を取り付ける前の石英のキャリアベース。
弊社の製作ではありませんが、高い技術力が伺えます！
↑こちらは弊社で製作したウエハーの受刃となります。ＰＦＡ製です。
長物形状の為、反りや寸法変化には特に気を付けて作業を行います。
↑受刃部分のアップです。専用工具を自社製作し、横ＭＣで製作しています。
薄肉部分もきれいに直角を出しています。
↑溶接+仕上を行い完成したウエハーキャリアです。
石英への被覆作業で一番の難点は治工具です。治工具の考え方によっては
高価な石英製品を溶接中に割ってしまう事になりかねません。
弊社では フッ素樹脂溶接 に係る様々なノウハウを所有していますので、是非
活用、お問い合わせをお願いします。
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フッ素樹脂溶接 ＰＦＡ溶接 テフロン溶接 ＰＦＡ被覆 の水戸精工㈱