半导体零部件
阀、泵零部件
在半导体制造装置不可或缺的阀、泵等高性能零部件方面，我公司加工对象不仅包括通用零部件，还涵盖了多联阀主体、阀膜片及风箱。凭借长年累积的经验与加工技术，我公司定能向客户提供放心、满意的高质量产品。
耦合器 装置零部件 （FITTING, PARTS)
关于半导体制造装置中，药水供给所需的管线零部件，我公司也可生产多支管及形状更为复杂的产品。 对于决定装置性能的管嘴等主要零部件，我公司凭借锤炼而成的孔加工技术与薄壁加工技术，能够在制造、供应时，使产品保持高精度，并维持质量的稳定。
弹簧（被覆、切削、SPRINNG）
弹簧应用于半导体制造工序时，需具备抗化学性的特征。对此，我公司可结合顾客需求，从技术的角度，向顾客推荐产品，如采用SUS等金属制作的弹簧、被覆具抗化学性氟树脂（PFA）的弹簧、以原材料形式进行制作的弹簧等。
