半導体部品
バルブ、ポンプ部品
半導体製造装置には欠かせない、バルブ、ポンプなどの高機能部品においては、汎用部品の加工だけにとどまらず、多連バルブの本体、ダイヤフラム、ベローズに至るまで長年の経験と加工技術でお客様に安心と満足を頂ける品質をお約束致します。
継手、装置部品
半導体製造装置において薬液供給には欠かせない配管部品の製作は多連マニホールドやより複雑な形状にも対応可能です。
装置の性能を決定するノズル等の主要部品においても弊社で培われた穴加工技術や薄肉加工技術を用いる事で高精度かつ安定的に製作と供給が可能です。
スプリング（被覆、切削）
半導体の製造プロセスで使用される耐薬品性のあるスプリング。SUS等の金属で製作されたスプリングに耐食性のあるフッ素樹脂（PFA）を被覆したスプリングや素材から製作を行うスプリングなど、お客様のニーズに合わせた技術的な提案も可能です。
